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OTF-1200X-S25-II-SL 1200℃1英寸雙溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)

應(yīng)用范圍：OTF-1200X-S25-II-SL是一款小型雙溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)。它由帶快速鏈接法蘭的小型雙溫區(qū)滑軌爐、質(zhì)子流量控制器、真空泵三部分組成。雙溫區(qū)滑軌爐可移動并可實現(xiàn)快速升降溫；觸屏式三路質(zhì)子流量器，能夠精確控制系統(tǒng)的供氣；真空泵可實現(xiàn)對管式爐快速抽真空。

產(chǎn)品型號：OTF-1200X-S25-II-SL

上架時間：2019-07-02

安裝尺寸：600(L) x 600(W) x 700(H) mm

A^-A⁺

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OTF-1200X-S25-II-SL是一款小型雙溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)。它由帶快速鏈接法蘭的小型雙溫區(qū)滑軌爐、質(zhì)子流量控制器、真空泵三部分組成。雙溫區(qū)滑軌爐可移動并可實現(xiàn)快速升降溫；觸屏式三路質(zhì)子流量器，能夠精確控制系統(tǒng)的供氣；真空泵可實現(xiàn)對管式爐快速抽真空。

性能指標和基本配置
OTF-1200X-S25-II -SL管式爐	爐體結(jié)構(gòu)	● 采用雙層殼體并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使其爐體表面溫度都小于55℃ ● 爐底安裝一對滑軌，可滑動，內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命
	爐管尺寸	Φ25×1000mm
	功率	1.2kW
	輸入電壓	220VAC 單相 50/60Hz
	加熱元件	Cr27Al7MO2（摻鉬鐵鉻鋁合金）
	最高溫度	最高1200℃額定溫度1100℃
	升溫速率	≦10℃/min（推薦）
	加熱區(qū)長度	● 兩個加熱區(qū)的長度都是100mm ● 分別由獨立的溫控系統(tǒng)控制
	控溫精度	±1℃
	快速連接法蘭	● KF25不銹鋼真空法蘭 ● 打開法蘭直接卸下卡箍即可，取放樣品方便 ● 另配備有可調(diào)節(jié)高度的法蘭支架
真空系統(tǒng)（多種真空系統(tǒng)可選請點擊這里)	殼體尺寸	600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm
	最大承載量	1000 Lbs
	抽氣速率	● 3L/S ● 極限真空度：10-1Pa ● 雙層立式油污過濾器(PE材質(zhì)）與真空泵連接
	電壓	AC220V/50Hz單相
	功率	23W
應(yīng)用注意事項	●爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ●由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ●當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ●石英管的長時間使用溫度＜1100℃ ●對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
質(zhì)量認證	所有電器元件（>24V）都通過UL?/?MET?/?CSA認證/ CE認證,若客戶出認證費用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點擊查看售后服務(wù)承諾書。

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