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GSL-1700X-HVC 1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)

應(yīng)用范圍：GSL-1700X-HVC是一款CE認(rèn)證的二通道高真空CVD系統(tǒng)，它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成，其最高工作溫度可達(dá)1600℃，極限真空度可達(dá) to 10^-5 torr?；鞖庀到y(tǒng)可以對兩種氣體進(jìn)行精確的混氣，然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。

產(chǎn)品型號：GSL-1700X-HVC

上架時間：2019-07-02

安裝尺寸：管爐：550 x 380 x 520mm

高真空：550 x 380 x 520mm

A^-A⁺

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GSL-1700X-HVC是一款CE認(rèn)證的二通道高真空CVD系統(tǒng)，它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成，其最高工作溫度可達(dá)1600℃，極限真空度可達(dá) to 10^-5 torr?；鞖庀到y(tǒng)可以對兩種氣體進(jìn)行精確的混氣，然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。

性能指標(biāo)和基本配置
GSL-1700X 系列管式爐	爐體結(jié)構(gòu)	● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷，使得殼體表面的溫度 < 55°C. ● 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命。 ● 保溫材料采用高純氧化鋁纖維，環(huán)保節(jié)能，減少熱量的損失。 ● 真空泵和氣體混合系統(tǒng)位于移動架上，方便移動。 ● 儀器上已經(jīng)安裝高真空法蘭，閥門，高真空機(jī)組。
	爐管	● 材質(zhì): 高純氧化鋁陶瓷管 ● 一根高純氧化鋁陶瓷管已經(jīng)安裝在爐子上 ● （標(biāo)配尺寸） ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1000mm L ● （選配尺寸） ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x 1000mm L
	功率	6KW
	工作電壓	AC 208-240V單相, 50/60Hz
	加熱元件	8 根1800°C grade MoSi2 heating element
	工作溫度	● 最高工作溫度.: 1650°C ● 連續(xù)工作溫度.: 1600°C
	升溫速率	≤5°C/min
	溫控系統(tǒng)	● 采用PID方式自動控制，并可設(shè)置30段升降溫程序 ● 控溫精度: ±1°C ● 熱電偶: B 型，已經(jīng)安裝在爐內(nèi)
	真空法蘭	● 一對不銹鋼真空密封法蘭已經(jīng)安裝 ● 法蘭上帶有一機(jī)械壓力表 ● 兩個精密針閥 ● 一個KF-25連接器和KF-25 轉(zhuǎn) KF-40 抽氣接口 ● 一個1/4"卡套接頭
	外形尺寸	550 x 380 x 520mm
高真空機(jī)組	功率	100~110W
	工作電壓	AC 208-240V單相, 50/60Hz
	外形尺寸	600(L) x 600(W) x 700(H), mm
	殼體	● 殼體尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm ● 最大承載量: 600 Lbs on top ● 分子泵控制面板: LCD 數(shù)字顯示 ● 內(nèi)裝有一 Pfeiffer vacuum pump made in Germany
	控制面板	● 一鍵操作：按下"start" 鍵后，隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動（隔膜泵先啟動等真空度達(dá)到10-2mbar后，分子泵自動啟動） ● 系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)速率：根據(jù)腔體內(nèi)的真空度，系統(tǒng)自動控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率
	抽氣速率	● N2 33 L/s ● He 39 L/s (2340L/minute) ● H2 32 L/s
	工作范圍	1000 mbar to <1E-7 mbar
	極限	<1E-8 mbar (without any leaking )
質(zhì)量流量控制器	殼體	●采用 316不銹鋼制作 ●混氣箱尺寸: Φ80X120mm ●外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm ●MFC控制面板 (Click to enlarge)，可根據(jù)客戶要求定制
	功率	18W
	工作電壓	AC 208-240V, 單相, 50/60Hz
質(zhì)量認(rèn)證	所有電器元件（>24V）都通過UL?/?MET?/?CSA認(rèn)證/ CE認(rèn)證,若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。

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