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PPM 級雙柱惰性氣體凈化器

應用范圍：GPH-DHDO含有兩部分氣體凈化器（一個用于除氧另一個用于除水），兩個凈化器用1/4”不銹鋼管和兩個針閥連接在一起，可以與任何科晶混氣系統(tǒng)連接。在室溫下，它將氣態(tài)雜質(zhì)降低到ppm級。它可將99.9%純度的惰性氣體如（氮、氦、氖、氬、氪、和氙）中的H2O、O2、CO2、H2和CO以及非甲烷的烴類化合物降至< 0.1 ppm，以及可將H2中的H2O、O2、CO2降至< 0.1 ppm。此外此設備帶有加熱功能，可以加熱到300℃對除氧除水單位進行再生，方便長期循環(huán)使用。

產(chǎn)品型號：PPM

上架時間：2019-07-11

安裝尺寸：445mm L X 400mm W X 190mm H

A^-A⁺

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GPH-DHDO含有兩部分氣體凈化器（一個用于除氧另一個用于除水），兩個凈化器用1/4”不銹鋼管和兩個針閥連接在一起，可以與任何科晶混氣系統(tǒng)連接。在室溫下，它將氣態(tài)雜質(zhì)降低到ppm級。它可將99.9%純度的惰性氣體如（氮、氦、氖、氬、氪、和氙）中的H2O、O2、CO2、H2和CO以及非甲烷的烴類化合物降至< 0.1 ppm，以及可將H2中的H2O、O2、CO2降至< 0.1 ppm。此外此設備帶有加熱功能，可以加熱到300℃對除氧除水單位進行再生，方便長期循環(huán)使用。

性能指標和基本配置
產(chǎn)品特點	● 輸入：輸入氣體純度要求：<1000 ppm（99.9％） ● 輸出：清除雜質(zhì)至<0.1 ppm（O2≤0.1 ppm H2O，-76℃露點溫度）（請點擊此處轉(zhuǎn)換濕度單位） ● 304L不銹鋼罐（<10 Ra EP） ● 3再生操作簡單方便 ● 內(nèi)置數(shù)字溫度控制器和氣體流量計控制 ● 再生后可凈化多達80L惰性氣體 ● 設備需在270℃下再生（需使用5N純度的95％N2 + 5％H2氣體）
電源	● 220v 50Hz ● 功率：500W（加熱過程中）
最大壓力輸出	0.5MPa
工作溫度	室溫-300℃
氣體泄漏率	<2 x 10-9 atm cc/sec He
溫度控制器	控溫精度±1 oC
最大氣流	400mL/min
外形尺寸	445mm L X 400mm W X 190mm H
質(zhì)量認證	CE認證
使用提示	● 您可以選購精密質(zhì)子流量計，輸入氣體更加準確（圖一） ● 此系統(tǒng)可以和本公司所有的管式爐和CVD系統(tǒng)相連接（圖二）圖一圖二
保修期	一年保修，終身技術支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點擊查看售后服務承諾書。
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