● 配置單端封口石英管，一滑軌安裝在右側法蘭處用于爐管的手動移動
● 管子一端安裝真空法蘭，真空度用分子泵可以到10-5Torr，機械泵可到10-3Torr。
● 法蘭處可插入一根直徑1/4”熱偶用來監(jiān)測管內實際溫度

● 電壓：AC208-240V，50/60Hz
● 功率：2.5KW

1100℃

±1℃

152mm

100mm（±1℃）

硅碳棒4根

2個S型熱電偶：1根用于測量和控制爐體溫度，1根用于監(jiān)測爐管內樣品的實時溫度

● 兩個溫區(qū)分別由兩個獨立的溫控系統控制
● 采用PID方式調節(jié)溫度，可設置30段升降溫程序
● 設置有超溫和斷偶保護
● 控溫精度為±1℃
● 設備面板上帶有RS485通訊接口
● 可選購PC控制模塊，可采用電腦來設置和顯示溫度曲線

加熱速率:                                     冷卻速率:
30°C/sec (RT - 500°C);               16°C/sec (1100°C - 800°C);
12°C/sec (500°C - 800°C);          9°C/sec (800°C - 600°C);
5°C/sec (800°C - 900°C);            5°C/sec (600°C - 500°C);
3.6°C/sec (900°C - 1000°C);       3.6°C/sec (500°C - 400°C);
1°C/sec (1000°C - 1100°C);        2.5°C/sec (400°C - 300°C);

● 單端封口高純石英管
    尺寸：50mm OD×44mm ID×304.8mm L
    最高工作溫度：1100℃（常壓下）

● 可選：CF高真空法蘭
   最高溫度：1000℃，10-6Torr
  1000℃（真空下）

● 鍍Cr厚鋼板做的雙向滑軌
● 滑動長度：350mm

● 管子一端安裝真空法蘭，標配一機械壓力表
● 法蘭處可插入一根直徑1/4”熱偶用來監(jiān)測管內實際溫度

● 取決于所選真空泵（真空泵不在標配中）
● 10-5Torr（采用分子泵）
● 10-2Torr(采用機械泵)

400mm L×305mm W×530mm H

~45kg

可利用此設備DIY構建快速熱蒸發(fā)以及物理化學氣相沉積工藝，如下圖：

CE認證