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廣東省工程技術研究中心
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VTF-1200X-III-TSSG 三溫區(qū)頂部籽晶助溶劑法(TSSG)單晶生長爐

應用范圍:VTF-1200X-III-TSSG是一款3溫區(qū)頂部籽晶助熔劑法(TSSG)晶體生長爐。此設備主要由3部分組成:3溫區(qū)加熱爐(爐膛尺寸為:Φ127mm×600mm,最高溫度為1200℃),溫控系統(tǒng)可設置28段溫度程序段,控溫精度±1℃和精密旋轉提拉機構,其提拉速度為0.8-50mm/hour.

產品型號 :VTF-1200X-III-TSSG

上架時間 :2019-07-24

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       VTF-1200X-III-TSSG是一款3溫區(qū)頂部籽晶助熔劑法(TSSG)晶體生長爐。此設備主要由3部分組成:3溫區(qū)加熱爐(爐膛尺寸為:Φ127mm×600mm,最高溫度為1200℃),溫控系統(tǒng)可設置28段溫度程序段,控溫精度±1℃和精密旋轉提拉機構,其提拉速度為0.8-50mm/hour.

 性能指標和基本配置
爐體

● 3溫區(qū)加熱: 150mm+300mm+150mm,三個溫區(qū)由獨立的溫控系統(tǒng)控制,可創(chuàng)造出較大的溫度梯度
● 最高工作溫度: 1200℃(小于1小時)
● 連續(xù)工作溫度:  1100oC
● 功率:  208V- 240V AC, 50/60Hz, 單相
● 最大功率: 5KW

控制面板

● PLC觸摸屏控制面板,可設置和控制提拉行程,提拉速度和旋轉速度等
● 溫控系統(tǒng):可設置28段溫度段,采用PID方式調節(jié)溫度,其控溫精度為±0.1℃
● 升溫速率: 0~10oC / min
● 提拉速度: 0.8-50mm/h (可調)
● 下降速度: 40 mm/minute
● 籽晶桿轉速: 0.1-23 RPM(可調)

最大提拉行程

300mm

加熱腔體

● 腔體直徑為Φ135mm(設計為開啟式),最大可直徑為Φ80mm的坩堝
● 加熱區(qū)長度600mm
● 可選購真空密封件:直徑為Φ127mm的石英管和密封法蘭
1 1

設備尺寸

1

籽晶提拉機構

● 水冷提拉桿直徑:28mm
● 可定制的提拉速度范圍:0.03-12mm/h(客戶根據實際需求進行定制,具體情況可與本公司銷售聯系)
● 最大提拉行程:400mm
● 手動操作實現快速升降
● 選配:旋轉速度:0.03-50r/min(根據要求定制旋轉機制以及旋轉速度范圍)

產品認證

CE認證
1

保修期 一年保修,終身技術支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
點擊查看售后服務承諾書。
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