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廣東省工程技術(shù)研究中心
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GSL-1800X-ZF2 蒸發(fā)鍍膜儀

應(yīng)用范圍:GSL-1800X-ZF2蒸發(fā)鍍膜儀主要應(yīng)用于大專院校、科研機構(gòu)、企業(yè)實驗室及微小產(chǎn)品進行真空鍍膜等真空處理的工藝研究、樣板試制、操作培訓(xùn)和生產(chǎn)。

產(chǎn)品型號:GSL-1800X-ZF2

上架時間:2020-04-16

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       GSL-1800X-ZF2蒸發(fā)鍍膜儀主要應(yīng)用于大專院校、科研機構(gòu)、企業(yè)實驗室及微小產(chǎn)品進行真空鍍膜等真空處理的工藝研究、樣板試制、操作培訓(xùn)和生產(chǎn)。
  功能特點
  • 采用桌面小型一體化結(jié)構(gòu),將真空腔體、鍍膜電源及控制系統(tǒng)進行整合設(shè)計,體積與一臺A3打印機相仿。
  • 采用電阻式雙蒸發(fā)源結(jié)構(gòu),可快速實現(xiàn)蒸發(fā)源的轉(zhuǎn)換。蒸發(fā)單元中裝有兩組蒸發(fā)電極可安裝不同的蒸發(fā)源,適應(yīng)相應(yīng)的鍍膜材料。
  • 配有0.1%精度蒸發(fā)電源,并具有恒流輸出功能,對蒸發(fā)舟能起到很好的保護作用。
  • 可選配石英晶體膜厚控制儀,在鍍膜過程中對鍍膜速率和膜層厚度進行控制。
  • 可將采集到的鍍膜數(shù)據(jù)保存到U盤,便于用戶分析控制(選配)。
  • 本機將所有功能設(shè)計成標(biāo)準(zhǔn)化模塊,根據(jù)用戶不同的需求對相應(yīng)模塊進行組合,以達到最優(yōu)化的鍍膜環(huán)境,并便于用戶維修與維護。
  • 操作控制采用7英寸TFT顯示屏顯示操作界面,觸屏操作,實現(xiàn)全圖形化界面,易用易懂。
  技術(shù)參數(shù)
安裝條件 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(加注純凈水或者去離子水)
AC220V 50Hz,必須有良好接地
設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶?6mm雙卡套接頭)及減壓閥
工作臺 落地式,占地面積2m2以上
通風(fēng)裝置 需要
電源 AC220V 1500W
蒸發(fā)電源功率 1000W 5V 200A
蒸發(fā)電極有效距離 44mm
樣品臺 ?120mm(可旋轉(zhuǎn))
膜厚測量精度 0.1?或0.01?(可選配高精度型)
外接真空機組 擴散泵機組(可選配國產(chǎn)110機組或進口機組)(不建議使用擴散泵)
極限真空度 >3.0×10-3torr(擴散泵)、3.0×10-4torr(分子泵)(不建議使用擴散泵)
工作真空度 5.0×10-3torr
真空接口 KF40
使用環(huán)境 溫度35℃,濕度<75%(相對濕度)不結(jié)露,海拔<1500m
尺寸 440mm×240mm×260mm(不包括真空機組)
重量 約47kg(不包括真空泵)
暫無內(nèi)容
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