D-500 臺階儀
應用范圍：D-500臺階儀支持臺階高度和粗糙度的2D輪廓掃描，以及翹曲度和應力的2D測量。光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。設備提供最高1200μm垂直量測距離，亞埃分辨率以及0.03-15毫克的針壓控制范圍。具有廣泛的應用范圍，包括從納米級到毫米級的臺階高度，高分辨率的粗糙度，軟材料和薄膜應力等，使其能夠服務于研發(fā)和生產環(huán)境中的各個行業(yè)。
產品型號：D-500
上架時間：2024-04-29
版本號：V1.0
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D-500臺階儀支持臺階高度和粗糙度的2D輪廓掃描，以及翹曲度和應力的2D測量。光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。設備提供最高1200μm垂直量測距離，亞埃分辨率以及0.03-15毫克的針壓控制范圍。具有廣泛的應用范圍，包括從納米級到毫米級的臺階高度，高分辨率的粗糙度，軟材料和薄膜應力等，使其能夠服務于研發(fā)和生產環(huán)境中的各個行業(yè)。
| 功能特點 |
|---|
- 臺階高度重復性：亞埃分辨率及光學杠桿傳感器具有低重量，低噪聲的特點。在1微米臺階的高度重復性為5埃；
- 直觀的用戶界面，數(shù)據(jù)采集設置和系統(tǒng)硬件控制顯示在同一界面，直接保存原始數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)分析無需重新測量，操作便捷；
- 超高清鏡頭：500萬像素高分辨率彩色相機，4倍數(shù)碼變焦和增強的照明控制；
- 梯形校正：消除側視鏡頭畫面的扭曲失真；
- 圓弧修正：圓弧修正功能可自動修正探針在測量過程中的圓弧運動，極大提高了側壁傾角和臺階寬度量測的精確度；
- 主要應用領域：薄膜/厚膜臺階的精準量測、蝕刻深度量測、柔性薄膜、表面粗糙度/平整度表征、薄膜2D應力量測、表面起伏度/彎曲度和其他多種表面分析功能。
| 技術參數(shù) | |
|---|---|
| 單次量測長度 | 30mm |
| 拼接量測長度 | 80mm |
| 探針 |
最大垂直測量值：1200μm 針壓施力范圍：0.03-15mg 電腦控制施力 |
| 側視鏡頭 |
FOV：3760*3120μm 相機：500萬像素數(shù)碼相機 支持4倍放大 電腦校正視野 |
| 手動樣品臺 |
尺寸：直徑140mm 水平移動范圍：20mm*80mm |
| 手動水平調節(jié) |
1微米標樣 50微米標樣 |
| 探針 | 5微米，夾角60° |
| 電腦配置 |
Windows10，64位，4GB內存，500GB硬盤 配有16X倍速DVD±RW刻錄機 配有USB2.0（前后各一個）和RJ45接口 配19寸LCD顯示器 |
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