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PCE-33 紫外臭氧清洗機

應(yīng)用范圍：PCE-33是一款桌面式紫外（UV）臭氧清洗機，自動開/關(guān)樣品門，可選加熱樣品臺，可用于清洗各種基片來達到比較好的涂膜/鍍膜效果，最大有效清洗面積300×300mm。此款設(shè)備特別適合移除基片上的光刻膠，改善潤濕性，清洗鈣鈦礦太陽能電池基片，SEM&TEM樣品，UV聚合物改性等。紫外臭氧清洗已被證明了是一種無酸性，干燥且無損傷地原子級別清洗手段，特別適合清除樣品表面的有機物。設(shè)備上所用紫外燈管主要發(fā)出2種波長的紫外光185nm和254nm,其中185nm紫外光可把空氣中的氧變?yōu)槌粞酰?span lang="EN-US">254nm紫外光激活基片表面的有機物分子，兩者結(jié)合可有效清除基片表面有機物。

產(chǎn)品型號：PCE-33

上架時間：2024-07-27

版本號：V1.2

A^-A⁺

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PCE-33是一款桌面式紫外（UV）臭氧清洗機，自動開/關(guān)樣品門，可選加熱樣品臺，可用于清洗各種基片來達到比較好的涂膜/鍍膜效果，最大有效清洗面積300×300mm。此款設(shè)備特別適合移除基片上的光刻膠，改善潤濕性，清洗鈣鈦礦太陽能電池基片，SEM&TEM樣品，UV聚合物改性等。紫外臭氧清洗已被證明了是一種無酸性，干燥且無損傷地原子級別清洗手段，特別適合清除樣品表面的有機物。設(shè)備上所用紫外燈管主要發(fā)出2種波長的紫外光185nm和254nm,其中185nm紫外光可把空氣中的氧變?yōu)槌粞酰?54nm紫外光激活基片表面的有機物分子，兩者結(jié)合可有效清除基片表面有機物。

功能特點

清洗面積較大，最大達300×300mm；
樣品倉門自動開關(guān)；
可移除基片表面各種污染物；
樣品臺可加熱，最高溫度150℃；
觸摸屏控制面板，可設(shè)置和現(xiàn)實各種參數(shù)。

技術(shù)參數(shù)
電源	單相AC220V±10%，頻率：50Hz/60Hz，功率約950W
UV燈	雙波長汞燈
UV燈波長	184.9nm、254nm；（臭氧型雙重波峰值）
UV燈使用壽命	5000小時
UV燈罩區(qū)域	300mm*350mm
可清洗基片尺寸	MAX 12英寸，厚35mm
時間設(shè)置	0.01s-99.9小時
腔體	不銹鋼殼體自動滑動抽屜樣品倉腔體內(nèi)安裝有臭氧排除裝置
加熱型樣品臺	面積L450mm*W450mm 支持最大樣品厚度：40mm；加熱臺最高溫度可達150℃，程序控溫可設(shè)置30段溫度段，控溫精度±2℃ 最大加熱速率：15℃/min 樣品臺和UV燈關(guān)之間的距離可調(diào)節(jié)：20~40mm 可選加熱溫度達到300℃，控溫精度±0.1mm
排氣口	一個直徑為75mm的排氣口在設(shè)備后部配有3米的柔性排氣管道
設(shè)備應(yīng)用	清洗Si基片，GaAs基片，石英和ITO玻璃；清洗各種氧化物單晶片，如藍寶石，STO和LAO；清洗Au和Pt基片；輕金屬材料表面氧化；活化聚合物材料；UV去除光刻膠；UV清洗LED顯示屏等

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